在當(dāng)今時(shí)代，集成電路產(chǎn)業(yè)于國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展進(jìn)程中，占據(jù)著戰(zhàn)略性主導(dǎo)地位。它不單單是轉(zhuǎn)變經(jīng)濟(jì)發(fā)展方式、調(diào)整產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)以及維護(hù)國(guó)家安全的關(guān)鍵支撐，更是培育與發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，推動(dòng)信息化和工業(yè)化深度融合的核心與基礎(chǔ)。過去十年間，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)步入快速發(fā)展通道，產(chǎn)業(yè)規(guī)模得以迅速拓展，產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)持續(xù)優(yōu)化升級(jí)。

　　隨著經(jīng)濟(jì)的持續(xù)進(jìn)步，集成電路設(shè)計(jì)對(duì)水質(zhì)的要求日益嚴(yán)苛。在生產(chǎn)環(huán)節(jié)，超純水成為保障集成電路性能的關(guān)鍵要素。展望未來數(shù)年，集成電路制造商數(shù)量的增多以及制造能力的提升，將進(jìn)一步拉動(dòng)集成電路行業(yè)對(duì)超純水制備的需求。這不僅體現(xiàn)在需求 “數(shù)量” 的增長(zhǎng)上，更因集成電路制造愈發(fā)精密，對(duì)超純水純度和穩(wěn)定性的 “質(zhì)量” 要求也會(huì)同步提高。

　　長(zhǎng)期以來，混床離子交換技術(shù)作為超純水制備的常規(guī)工藝，在超純水生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用頗為廣泛。不過，該技術(shù)存在明顯短板，需要周期性再生，且在再生過程中會(huì)耗費(fèi)大量化學(xué)藥品(酸堿)與工業(yè)純水，同時(shí)還會(huì)引發(fā)一定的環(huán)境問題。鑒于此，研發(fā)無(wú)酸堿超純水系統(tǒng)成為行業(yè)發(fā)展的迫切需求。

　　傳統(tǒng)離子交換技術(shù)已逐漸難以契合現(xiàn)代工業(yè)發(fā)展與環(huán)保要求。在此背景下，融合膜、樹脂以及電化學(xué)原理的 EDI 技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生，引發(fā)了水處理技術(shù)的重大變革。EDI 技術(shù)在離子交換樹脂再生過程中，采用電能替代酸堿，更加契合當(dāng)下全球的環(huán)保理念。

　　EDI 系統(tǒng)通常應(yīng)用于反滲透系統(tǒng)之后，能夠取代傳統(tǒng)的混床離子交換技術(shù)，穩(wěn)定生產(chǎn)超純水。超純水系統(tǒng)將反滲透水處理設(shè)備、EDI 系統(tǒng)和拋光混床相結(jié)合來制備超純水。這不僅是一種創(chuàng)新的超純水制備技術(shù)，更是一種兼具環(huán)保、經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢(shì)且具備巨大發(fā)展?jié)摿Φ某兯苽涔に嚒?/p>

　　超純水設(shè)備具備諸多優(yōu)勢(shì)，能夠連續(xù)穩(wěn)定地生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)超純水，不會(huì)因樹脂再生而中斷運(yùn)行。其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小，能夠?yàn)槠髽I(yè)節(jié)省大量空間資源。與傳統(tǒng)超純水制備方法相比，超純水設(shè)備在制備高質(zhì)量超純水方面，展現(xiàn)出更為出色的穩(wěn)定性與持續(xù)性。